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上海铸金分析仪器有限公司
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3D激光扫描显微镜LEXT OLS5100
3D激光扫描显微镜LEXT OLS5100概述：
★用于材料分析的激光显微镜
更智能的工作流程，更快速的实验设计
适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将良好的测量精度和光学性能与智能工具相结合，让显微镜更加方便使用。通过快速高效精确测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。
★保证测量准确度
LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）搭配使用，就可获得可靠的高精度数据。
△有保证的测量准确度*
△奥林巴斯的光学器件能够以更低像差在整个视场中捕捉样品的形貌
△智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量
*本网页上包括保证的准确度在内的信息基于奥林巴斯设定的条件。
3D激光扫描显微镜LEXT OLS5100软件：
★简化材料工程与失效分析实验管理
测试新材料时的实验条件管理具有复杂性，OLS5100激光显微镜的智能实验管理助手（Smart Experiment Manager）可通过关键步骤（如创建实验计划）自动化简化这一过程。
△提升30％的速度加快完成测量任务 *
△扫描计划随数据采集自动生成
△无需花费时间转录数据，软件为您自动完成
*与OLS5000相比
★自动数据输入
软件会自动将值添加到实验计划矩阵中，以尽可能减少输入错误的可能。只需点击几下鼠标，就可以将实验数据导出到Excel电子表格。
★全方位数据采集
显微镜根据软件生成的实验计划扫描样品，不会让您丢失数据或重复工作。
★轻松发现问题
彩色图谱可帮助您了解实验数据并验证是否存在数据丢失和错误。如果存在问题，您可以尽早发现并解决。
★选择合适的物镜
智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）还可帮助您为粗糙度测量应用选择合适的物镜只需选择合适的物镜，再点击开始，智能物镜选择助手（Smart Lens Advisor）就会告诉您该物镜的推荐程度。
★轻松的数据采集
经验丰富的用户和新手均可以利用Smart Scan II功能快速轻松获取数据。将样品放在载物台上，按下“启动”按钮，显微镜即可自动完成其余操作。
3D激光扫描显微镜LEXT OLS5100技术规格：
★主机
|
型号 |
OLS5100-SAF |
OLS5100-SMF |
OLS5100-LAF |
OLS5100-EAF |
|
|
总倍率 |
54x–17,280x |
||||
|
视场 |
16 μm–5,120 μm |
||||
|
测量原理 |
光学系统 |
反射式共焦激光扫描激光显微镜 |
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|
光接收元件 |
激光：光电倍增管（2通道） |
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|
高度测量 |
显示分辨率 |
0.5 nm |
|||
|
动态范围 |
16位 |
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|
重复性σn -1*1 *2 *5 |
5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm |
||||
|
准确度*1 *3 *5 |
0.15 + L / 100μm（L：测量长度[μm]） |
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|
拼接图像准确度*1 *3 *5 |
10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm]) |
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|
测量噪声（Sq噪声）*1 *4 *5 |
1 nm（典型值） |
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|
宽度测量 |
显示分辨率 |
1 nm |
|||
|
重复性3σn-1 *1 *2 *5 |
5X: 0.45 μm, 10X: 0.1 μm, 20X: 0.03 μm, 50X: 0.012 μm, 100X: 0.012 μm |
||||
|
准确度*1 *3 *5 |
测量值+/- 1.5% |
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|
拼接图像准确度*1 *3 *5 |
10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度[mm]） |
||||
|
单次测量时z大测量点数量 |
4096 × 4096像素 |
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|
z大测量点数量 |
3600万像素 |
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|
XY载物台配置 |
长度测量模块 |
• |
不适用 |
不适用 |
• |
|
工作范围 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动 |
300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动 |
|
|
z大样品高度 |
100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
30 mm (1.2 in.) |
210 mm (8.3 in.) |
|
|
激光光源 |
波长 |
405 nm |
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|
z大输出 |
0.95 mW |
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|
激光等级 |
2级（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） |
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|
彩色光源 |
白光LED |
||||
|
电气功率 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
|
|
质量 |
显微镜主体 |
约 31 kg |
约 32 kg |
约 50 kg |
约 43 kg |
|
控制箱 |
约 12 kg |
||||
*1 在ISO554(1976)、JIS
Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证（温度：20?C±1?C，湿度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所规定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
*5 基于奥林巴斯认证系统下的保证。
★物镜
|
系列 |
型号 |
数值孔径（NA） |
工作距离（WD）（mm） |
|
UIS2?物镜 |
MPLFLN2.5x |
0.08 |
10.7 |
|
MPLFLN5x |
0.15 |
20 |
|
|
专用LEXT物镜（10X） |
MPLFLN10xLEXT |
0.3 |
10.4 |
|
专用LEXT物镜（高性能型） |
MPLAPON20xLEXT |
0.6 |
1 |
|
MPLAPON50xLEXT |
0.95 |
0.35 |
|
|
MPLAPON100xLEXT |
0.95 |
0.35 |
|
|
专用LEXT物镜（长工作距离型） |
LMPLFLN20xLEXT |
0.45 |
6.5 |
|
LMPLFLN50xLEXT |
0.6 |
5.2 |
|
|
LMPLFLN100xLEXT |
0.8 |
3.4 |
|
|
超长工作距离物镜 |
SLMPLN20x |
0.25 |
25 |
|
SLMPLN50x |
0.35 |
18 |
|
|
SLMPLN100x |
0.6 |
7.6 |
|
|
适用于LCD样品的长工作距离物镜 |
LCPLFLN20xLCD |
0.45 |
8.3-7.4 |
|
LCPLFLN50xLCD |
0.7 |
3.0-2.2 |
|
|
LCPLFLN100xLCD |
0.85 |
1.2-0.9 |
★应用软件
|
标准软件 |
OLS51-BSW |
|
|
数据采集app |
分析应用程序（简单分析） |
|
|
电动载物台套件应用*1 |
OLS50-S-MSP |
|
|
高级分析应用*2 |
OLS50-S-AA |
|
|
薄膜厚度测量应用 |
OLS50-S-FT |
|
|
自动边缘测量应用 |
OLS50-S-ED |
|
|
颗粒物分析应用 |
OLS50-S-PA |
|
|
智能实验管理助手应用 |
OLS51-S-ETA |
|
|
球体/圆柱体表面角度分析应用 |
OLS50-S-SA |
|
*1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
*2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
